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[高分]
 Electromechanical coupling coefficients of c-axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering 离子束辅助射频磁控溅射生长c轴平行取向ScAlN薄膜的机电耦合系数
相关领域
溅射沉积
联轴节（管道）
离子
溅射
材料科学
光电子学
离子束
腔磁控管
梁（结构）
分析化学（期刊）
化学
薄膜
物理
光学
纳米技术
冶金
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期刊：IEICE Technical Report; IEICE Tech. Rep. 作者：Mineki Oka; Shinji Takayanagi; Takahiko Yanagitani; Mami Matsukawa 出版日期：2015-08-27 |
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