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Electromechanical coupling coefficients of c-axis parallel oriented ScAlN films grown by ion-beam assisted RF magnetron sputtering

溅射沉积联轴节（管道）离子溅射材料科学光电子学离子束腔磁控管梁（结构）分析化学（期刊）化学薄膜物理光学纳米技术冶金色谱法有机化学

作者

Mineki Oka,Shinji Takayanagi,Takahiko Yanagitani,Mami Matsukawa

出处

期刊：IEICE Technical Report; IEICE Tech. Rep. 日期：2015-08-27 卷期号：115 (207): 31-35

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