Alternating a-C:H coating effect on torsional strength of silicon beam for micromirrors

材料科学 涂层 复合材料 微观结构 薄脆饼 等离子体增强化学气相沉积 堆积 扭转(腹足类) 化学气相沉积 光电子学 核磁共振 医学 物理 外科
作者
Yuanlin Xia,Lei Zhong,Jiaxing Tan,Zhuqing Wang,Amit Banerjee,Jun Hirotani,Toshiyuki Tsuchiya
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:363: 114713-114713 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.sna.2023.114713

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