Breakdown voltage and TDDB performance improvement by optimizing the PECVD dielectric film characteristics in MIM capacitors

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标题	Breakdown voltage and TDDB performance improvement by optimizing the PECVD dielectric film characteristics in MIM capacitors
网址	https://doi.org/10.1016/j.microrel.2024.115358
DOI	10.1016/j.microrel.2024.115358 doi
其它	期刊：Microelectronics Reliability 作者：Huihui Wu; Haisheng Miao; Zhenhua Song; Zhaofeng Li 出版日期：2024-03-14
求助人	侠心飞白在 2026-05-27 09:54:33 发布自广东，悬赏 10 积分
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