Wave-front errors of reference spherical waves in high-numerical aperture point diffraction interferometers

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标题	Wave-front errors of reference spherical waves in high-numerical aperture point diffraction interferometers
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/22/1/104/11022899/1...
DOI	10.1116/1.1640403 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena 作者：Yoshiyuki Sekine; Akiyoshi Suzuki; Masanobu Hasegawa; Chidane Ouchi; Shinichi Hara; et al 出版日期：2004-02-06
求助人	Russell 在 2026-04-07 22:48:14 发布自吉林，悬赏 10 积分
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