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 Effect of substrate temperature and annealing on structure, stress and properties of reactively co-sputtered Ni-TiN nanocomposite thin films 衬底温度和退火对反应共溅射Ni-TiN纳米复合薄膜结构、应力和性能的影响
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期刊：Thin Solid Films 作者：Mukesh Kumar; Rahul Mitra 出版日期：2017-01-16 |
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