| 标题 |
 Multistep profiles by mix and match of nanoimprint and UV lithography 纳米压印和紫外光刻混合匹配的多步轮廓
相关领域
纳米压印光刻
抵抗
平版印刷术
材料科学
纳米技术
制作
微电子
多重图案
纳米
纳米光刻
聚合物
光刻
图层（电子）
光电子学
复合材料
医学
替代医学
病理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：K. Pfeiffer; Mathias Fink; G. Gruetzner; G. Bleidießel; H. Schulz; et al 出版日期：2001-09-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
cdercder
Nole
DW
无极微光
Dean
学术文献互助
贪玩的秋柔
aaaa
Wells
秋风
dde
aajhajkahna
v0id
共产主义战士
Kao
OK
Juvenilesy
xing_xing
挖掘机
科研狗
皖公网安备34019202002308
