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 Multistep profiles by mix and match of nanoimprint and UV lithography 纳米压印和紫外光刻混合匹配的多步轮廓
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期刊：Microelectronic Engineering 作者：K. Pfeiffer; Mathias Fink; G. Gruetzner; G. Bleidießel; H. Schulz; et al 出版日期：2001-09-01 |
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