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 A force-balance MEMS gravimeter with area-changed capacitors for transducing and actuating 用于转换和驱动的面积变化电容器的力平衡MEMS重力仪
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期刊： 作者：Fangzheng Li; Le Gao; Bingyang Cai; Wenjie Wu; Liangcheng Tu 出版日期：2023-02-22 |
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