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标题
A force-balance MEMS gravimeter with area-changed capacitors for transducing and actuating
用于转换和驱动的面积变化电容器的力平衡MEMS重力仪
相关领域
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网址
https://doi.org/10.5194/egusphere-egu23-3079
DOI
10.5194/egusphere-egu23-3079 doi
其它 期刊：
作者：Fangzheng Li; Le Gao; Bingyang Cai; Wenjie Wu; Liangcheng Tu
出版日期：2023-02-22
求助人
顺利的琳 在 2025-08-21 14:21:55 发布自山东，悬赏 10 积分
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