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标题
Effects of Chemical-Electrical and Mechanical Parameters on Electrical-induced Chemical Mechanical Polishing of GaN
网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/ac4215
DOI
10.1149/2162-8777/ac4215 doi
其它 期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者：Zhao Ding; Shiwei Niu; Qingyu Yao; Yongguang Wang; Huaijun Guan; et al
出版日期：2021-12-11
求助人
dsw 在 2026-11-03 15:26:20 发布自四川，悬赏 10 积分
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    ding ding Lv12 上传了文件

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  • 14小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:26:23 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:26:20 科研通AI机器人（新加坡）收到请求，开始寻找文献
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  • 14小时前

    dsw dsw Lv4 求助人 发起了本次求助

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