Performance and Stress Analysis of Metal Oxide Films for CMOS-Integrated Gas Sensors

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标题	Performance and Stress Analysis of Metal Oxide Films for CMOS-Integrated Gas Sensors
网址	http://dx.doi.org/10.3390/s150407206
DOI	10.3390/s150407206 doi
其它	期刊：Sensors 作者：Lado Filipovic; Siegfried Selberherr 出版日期：2015-03-25
求助人	孙成成在 2026-09-02 19:41:13 发布自广东，悬赏 10 积分
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