X-ray nanodiffraction analysis of residual stresses in polysilicon electrodes of vertical power transistors

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标题	X-ray nanodiffraction analysis of residual stresses in polysilicon electrodes of vertical power transistors
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S258915292...
DOI	10.1016/j.mtla.2022.101484 doi
求助人	ZYC007 在 2026-06-29 17:18:06 发布自江苏，悬赏 20 积分
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