Localized source and mask optimization with narrow-band level-set method

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标题	Localized source and mask optimization with narrow-band level-set method
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2514670
DOI	10.1117/12.2514670 doi
其它	期刊：Optical Microlithography XXXII 作者：Yijiang Shen 出版日期：2019-03-20
求助人	KT 在 2026-06-29 00:02:04 发布自广东，悬赏 20 积分
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Institute for Operations Research and the Management Sciences

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