915 MHz微波等离子体化学气相沉积装置及其金刚石膜沉积研究进展

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标题	915 MHz微波等离子体化学气相沉积装置及其金刚石膜沉积研究进展
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	[1]任国钊,陈良贤,安康,等.915 MHz微波等离子体化学气相沉积装置及其金刚石膜沉积研究进展[J].人工晶体学报,2026,55(4):546-565.DOI:10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2025.0249.
求助人	慕剑在 2026-08-20 12:26:07 发布自湖北，悬赏 10 积分
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