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Measuring and tailoring CTE within ULE glass 相关领域
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10.1117/12.484925
doi
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| 其它 |
期刊:SPIE Advanced Lithography 作者:K. Hrdina; Bradford G. Ackerman; Andrew W. Fanning; Christine E Heckle; David C. Jenne; et al 出版日期:2003-06-13 |
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