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Homogeneous Gas Phase Nucleation of Silane in Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) |
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期刊:Journal of The Electrochemical Society 作者:Z. M. Qian; H. Michiel; A. Van Ammel; J. Nijs; R. Mertens 出版日期:1988-09-01 |
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(2025-6-4)