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标题
Improvement of the surface quality of semi-insulating InP substrates through a novel etching and cleaning method
网址
https://doi.org/10.1116/1.4798309
DOI
10.1116/1.4798309 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Jingming Liu; Youwen Zhao; Zhiyuan Dong; Fengyun Yang; Fenghua Wang; et al
出版日期：2013
求助人
柯彦 在 2026-06-17 13:53:29 发布自江苏，悬赏 10 积分
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