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标题
[高分] 27pA6 CZシリコン単結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動と平衡偏析係数(バルク結晶成長シンポジウムIII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
网址
https://www.jstage.jst.go.jp/article/jjacg/20/2/20_KJ0000330...
DOI
10.19009/jjacg.20.2_72 doi
其它 期刊：
作者：飯野 栄一; 泉 布施川; 山岸 浩利
出版日期：1993-07-10
求助人
lgh 在 2026-09-20 15:48:59 发布自陕西，悬赏 150 积分
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