Enhanced Ferroelectricity and Reliability in Sub-6 nm Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack Film Compatible with BEOL Process

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标题	Enhanced Ferroelectricity and Reliability in Sub-6 nm Ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack Film Compatible with BEOL Process
网址	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/58874
DOI	10.1021/acsaelm.4c01745 doi
求助人	风月千绪在 2026-09-22 23:24:50 发布自江苏，悬赏 10 积分
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