4‐3: Silicon‐Oxide Thin Films Deposited by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition for High Mobility Oxide TFT

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标题	4‐3: Silicon‐Oxide Thin Films Deposited by Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition for High Mobility Oxide TFT
网址	http://dx.doi.org/10.1002/sdtp.18074
DOI	10.1002/sdtp.18074 doi
其它	期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers 作者：Heeyong Lee; Choelmin Jang; Junggon Kim; Myungsoo Huh; Cheollae Roh 出版日期：2025-06-01
求助人	mingfei 在 2026-09-23 10:53:05 发布自上海，悬赏 10 积分
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