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 A Novel Opto-Mechanical Accelerometer in Low-Loss Silicon Nitride Photonics Platform With High Dynamic Range Achieved via Heterodyne Detection 相关领域
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期刊：IEEE Sensors Journal 作者：Yuqi Meng; Xiaoyu Niu; Ehsan Vatankhah; Zihuan Liu; Neal A. Hall 出版日期：2025-08-01 |
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(2025-6-4)
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