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标题
Influence of growth parameters and systematical analysis on 8-inch piezoelectric AlN thin films by magnetron sputtering
网址
https://doi.org/10.1016/j.mssp.2023.107895
DOI
10.1016/j.mssp.2023.107895 doi
其它 期刊：Materials Science in Semiconductor Processing
作者：Shaocheng Wu; Rongbin Xu; Bingliang Guo; Yinggong Ma; Daquan Yu
出版日期：2023-10-20
求助人
我方水晶 在 2026-10-22 12:57:01 发布自天津，悬赏 10 积分
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