| 标题 |
  Comparative analysis of barium titanate thin films dry etching using inductively coupled plasmas by different fluorine-based mixture gas 不同氟基混合气体电感耦合等离子体干法刻蚀钛酸钡薄膜的对比分析
相关领域
材料科学
钛酸钡
感应耦合等离子体
X射线光电子能谱
分析化学（期刊）
蚀刻（微加工）
薄膜
反应离子刻蚀
钡
等离子体
纳米技术
化学工程
光电子学
电介质
化学
冶金
图层（电子）
工程类
物理
量子力学
色谱法
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Nanoscale Research Letters 作者：Yang Li; Cong Wang; Zhao Yao; Hong-Ki Kim; Nam-Young Kim 出版日期：2014-09-26 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
浮游
无极微光
归尘
yznfly
月子淇
风吹麦田
Mic
且慢
子车茗
ccm
Zx_1993
eric888
tuanheqi
GingerF
BareBear
彭于彦祖
xxfsx
Huzhu
fei
liao
pluto
Frank
小青椒
sevenhill
皖公网安备34019202002308
