Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer

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标题	Development of low-stress SiC coating on single crystal Si using low elastic modulus SiOC amorphous buffer layer
网址	https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2024.122908
DOI	10.1016/j.jnoncrysol.2024.122908 doi
其它	期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Weichen Jing; Naeem ul Haq Tariq; Junchao Wang; Wenkang Hou; Tianying Xiong; Mingqiang Tang 出版日期：2024
求助人	月光疾风在 2025-09-25 15:29:18 发布自北京，悬赏 10 积分
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