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 A Study on Ohmic Contact to Dry-Etched p-GaN 干法刻蚀p-GaN欧姆接触的研究
相关领域
欧姆接触
干法蚀刻
材料科学
光电子学
蚀刻（微加工）
退火（玻璃）
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薄脆饼
图层（电子）
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期刊：IEICE Transactions on Electronics 作者：C.Y. Hu; Jin‐Ping Ao; M Okada; Yutaka Ohno 出版日期：2008-07-01 |
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