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Effects of annealing process on the structural and photodetection properties of new thin-film solar-blind UV sensor based on Si-photonics technology
退火工艺对基于硅光子学技术的新型薄膜日盲紫外传感器结构和光电探测性能的影响
相关领域
材料科学 光电子学 退火(玻璃) 异质结 光子学 溅射沉积 结晶度 光电探测器 光探测 无定形固体 溅射 薄膜 纳米技术 复合材料 化学 有机化学
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2020.105331 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:H. Ferhati; F. Djeffal; A. Saidi; A. Benhaya; A. Bendjerad
出版日期:2020-08-13
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