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标题
A Novel Scheme for Full Bottom Dielectric Isolation in Stacked Si Nanosheet Gate-All-Around Transistors
堆叠硅纳米片全栅极晶体管全底部介质隔离的新方案
相关领域
纳米片 晶体管 光电子学 材料科学 外延 电容 环形振荡器 制作 电介质 寄生电容 电子工程 电气工程 工程类 纳米技术 图层（电子） 电压 化学 病理 物理化学 医学 CMOS芯片 电极 替代医学
网址
https://www.mdpi.com/2072-666X/14/6/1107/pdf?version=1684934...
AI链接 mdpi.com mdpi.com nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.3390/mi14061107 doi
其它 期刊：Micromachines
作者：Jingwen Yang; Ziqiang Huang; Dawei Wang; Tao Liu; Xin Sun; et al
出版日期：2023-05-24
求助人
从容的元芹 在 2025-08-29 22:24:44 发布，悬赏 10 积分
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