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 Molecular dynamics simulations of low-energy Clatoms etching Si(100) surface 相关领域
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：He Ping-Ni; Ning Jian-Ping; Qin You-Min; Zhao Cheng-Li; Fujun Gou 出版日期：2011-01-01 |
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