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![]() 使用金属有机前体(C12H23N3Ti)和H2O(去离子水)的二氧化钛薄膜的原子层沉积
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期刊:Journal of Alloys and Compounds 作者:Byunguk Kim; Namgue Lee; Suhyeon Park; Taehun Park; Jaiwon Song; et al 出版日期:2020-11-13 |
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