使用 SF6/C4F8 Bosch 工艺模拟硅蚀刻的多尺度方法

已关闭

文献求助详情

标题	使用 SF6/C4F8 Bosch 工艺模拟硅蚀刻的多尺度方法
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	Journal of Vacuum Science & Technology A(IF 2.5)Pub Date : 2017-05-01, DOI: 10.1116/1.4982687 Guillaume Le Dain, Ahmed Rhallabi, Marie Claude Fernandez, Mohamed Boufnichel, Fabrice Roqueta
求助人	LL 在 2026-09-18 16:29:04 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

12小时前，求助关闭

null Lv126 关闭了本次求助。

说明求助违规（查看求助规则）：请补充doi或链接后重新求助，如果确实找不到doi和链接，请在备注栏说明【积分已退回】
13小时前

科研通AI2.0 机器人当前文献（中文）不支持机器人极速下载，机器人已退出，请等待人工下载

16:29:05 当前文献（中文）不支持机器人极速下载，机器人已退出，请等待人工下载

16:29:04 已向机器人发送请求
13小时前

LL Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 多情的棒棒糖完成签到，获得积分10

4秒前; DW上传了应助文件

21秒前; yipmyonphu完成签到，获得积分0

22秒前; 搬砖的化学男完成签到，获得积分0

36秒前; chen的应助被angelacici采纳，获得10

40秒前; liu完成签到，获得积分10

53秒前; DW上传了应助文件

55秒前; 欣慰怀梦完成签到，获得积分10

56秒前; 微笑风华完成签到，获得积分10

59秒前; 笨笨完成签到，获得积分10

1分钟前; 初九发布了新的文献求助10

1分钟前; Changhiwi完成签到，获得积分10

1分钟前; weitao0916完成签到，获得积分10

1分钟前; Owen上传了应助文件

1分钟前; Liu完成签到，获得积分10

1分钟前; 初九发布了新的文献求助10

1分钟前; 小龙仔123完成签到，获得积分10

1分钟前; momo321发布了新的文献求助10

1分钟前; momo321完成签到，获得积分10

1分钟前; 初九发布了新的文献求助10

1分钟前; 年轻新晴完成签到，获得积分10

1分钟前; 露露完成签到，获得积分10

1分钟前; 玛卡巴卡爱吃饭完成签到，获得积分10

1分钟前; 雪儿完成签到，获得积分10

1分钟前; 李健上传了应助文件

2分钟前; humorlife完成签到，获得积分10

2分钟前; 现代的冰海完成签到，获得积分10

2分钟前; zyyicu完成签到，获得积分10

2分钟前; 初九发布了新的文献求助10

2分钟前; 初九发布了新的文献求助10

2分钟前; 炳灿完成签到，获得积分10

2分钟前; 燕儿完成签到，获得积分10

2分钟前; Jasper上传了应助文件

2分钟前; 风趣的莫英完成签到，获得积分10

2分钟前; 初九发布了新的文献求助10

2分钟前; 153266916完成签到，获得积分10

2分钟前; 11完成签到，获得积分10

3分钟前; 初九发布了新的文献求助10

3分钟前; 研友_GZ3zRn完成签到，获得积分0

3分钟前; 掐钰的应助被科研通管家采纳，获得10

3分钟前