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Crystal-Originated Singularities on Si Wafer Surface after SC1 Cleaning
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网址
https://iopscience.iop.org/article/10.1143/JJAP.29.L1947
DOI
10.1143/jjap.29.l1947 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：J. Ryuta; E. Morita; Toshirou Tanaka; Y. Shimanuki
出版日期：1990-11-20
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小灰灰 在 2026-08-01 09:21:45 发布自山东，悬赏 10 积分
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