Atomic layer deposition for hafnium oxide-based meta-optics in the ultraviolet spectral range

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标题	[高分] Atomic layer deposition for hafnium oxide-based meta-optics in the ultraviolet spectral range
网址	https://www.epj-conferences.org/articles/epjconf/pdf/2025/20...
DOI	10.1051/epjconf/202533508003 doi
其它	期刊：EPJ Web of Conferences 作者：T. Siefke; Kristin Gerold; Svetlana Shestaeva; Pallabi Paul; Shawon Alam; et al 出版日期：2026-04-05
求助人	zhang 在 2026-09-16 17:21:36 发布自天津，悬赏 50 积分
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