Multilayered EUV pellicle: enhanced mechanical strength and thermal stability - 科研通

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标题	Multilayered EUV pellicle: enhanced mechanical strength and thermal stability 多层EUV表膜：增强的机械强度和热稳定性相关领域极紫外光刻热稳定性材料科学机械强度热的复合材料理论（学习稳定性）计算机科学光电子学物理化学工程工程类热力学机器学习
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034680
DOI	10.1117/12.3034680 doi
其它	作者：Young Woo Kang; Ha‐Neul Kim; Tae‐Ho Lee; Young Wook Park; Jinho Ahn 出版日期：2024-11-12
求助人	STP顶峰相见在 2025-05-29 17:49:14 发布自山东，悬赏 20 积分
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