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 Deep reinforcement learning framework for end-to-end semiconductor process control 用于端到端半导体工艺控制的深度强化学习框架
相关领域
端到端原则
过程（计算）
强化学习
计算机科学
控制（管理）
钢筋
人工智能
心理学
社会心理学
程序设计语言
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| 其它 |
Hirtz, T., Tian, H., Shahzad, S. et al. Deep reinforcement learning framework for end-to-end semiconductor process control. Neural Comput & Applic 36, 12443–12460 (2024). https://doi.org/10.1007/s00521-024-09710-1 Download citation Received 05 August 2023 Accepted 25 March 2024 Published 21 April 2024 Issue Date July 2024 |
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