Deep reinforcement learning framework for end-to-end semiconductor process control

端到端原则 过程(计算) 强化学习 计算机科学 控制(管理) 钢筋 人工智能 心理学 社会心理学 程序设计语言
作者
Thomas Hirtz,He Tian,Shazrah Shahzad,Fan Wu,Yi Yang,Tian‐Ling Ren
出处
期刊:Neural Computing and Applications [Springer Nature]
卷期号:36 (20): 12443-12460 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s00521-024-09710-1

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