Study on EUV mask blank inspection with multi-wavelength high harmonic generation EUV source

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标题	Study on EUV mask blank inspection with multi-wavelength high harmonic generation EUV source 多波长高次谐波产生极紫外光罩毛坯检测研究相关领域极紫外光刻空白波长光学材料科学光源谐波高次谐波产生极端紫外线光电子学物理声学激光器复合材料
网址	https://doi.org/10.1117/12.3053100
DOI	10.1117/12.3053100 doi
其它	期刊：作者：Y. Q. Li; Zhinan Zeng 出版日期：2024-12-10
求助人	斯文败类虎在 2025-05-18 17:17:50 发布自广东，悬赏 20 积分
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