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 Studies of oxide desorption from GaAs substrates via Ga2O3 to Ga2O conversion by exposure to Ga flux 通过暴露于Ga通量从GaAs衬底上通过Ga2O3转化为Ga2O的氧化物解吸研究
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Z. R. Wasilewski; J.‐M. Baribeau; M. Beaulieu; Xin Wu; G. I. Sproule 出版日期：2004-05-01 |
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