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 Controlled co-evaporation of silanes for nanoimprint stamps 用于纳米压印印章的硅烷的受控共蒸发
相关领域
硅烷
材料科学
硅烷
纳米压印光刻
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期刊：Nanotechnology 作者：Helmut Schift; Sina Saxer; Sunggook Park; Celestino Padeste; Uwe Pieles; et al 出版日期：2005-02-22 |
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