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标题
Metal-Core-Specific Screening with Machine Learning: Accelerating the Discovery of Metal Oxide Clusters for Enhanced EUV Lithography Resolution
利用机器学习进行金属芯特异性筛选：加速发现金属氧化物团簇以提高EUV光刻分辨率
相关领域
极紫外光刻 材料科学 平版印刷术 纳米技术 极端紫外线 计算机科学 光电子学 光学 物理 激光器
网址
https://doi.org/10.1021/acs.jpclett.4c03250
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1021/acs.jpclett.4c03250 doi
其它 期刊：The Journal of Physical Chemistry Letters
作者：Fangling Yang; Zongbiao Ye; Yuqi Chen; Panpan Zhou; Fujun Gou
出版日期：2024-12-25
求助人
日辰星痕 在 2025-12-26 20:27:04 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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