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 Zinc Oxide: From Precursor Chemistry to Gas Sensors: Plasma‐Enhanced Atomic Layer Deposition Process Engineering for Zinc Oxide Layers from a Nonpyrophoric Zinc Precursor for Gas Barrier and Sensor Applications (Small 22/2020) 氧化锌：从前体化学到气体传感器：用于气体屏障和传感器应用的非自燃锌前体氧化锌层的等离子体增强原子层沉积工艺工程（Small 22/2020）
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期刊：Small 作者：Lukas Mai; Felix Mitschker; Claudia Bock; Alessia Niesen; Engin Çiftyürek; et al 出版日期：2020-06-01 |
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