Progress of MEMS acoustic emission sensor: a review

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标题	Progress of MEMS acoustic emission sensor: a review 相关领域声发射微电子机械系统电容感应压阻效应稳健性（进化）声学电子工程工程类计算机科学材料科学电气工程纳米技术物理生物化学基因化学
网址	https://doi.org/10.1108/sr-06-2023-0232
DOI	10.1108/sr-06-2023-0232 doi
其它	期刊：Sensor Review 作者：Junhui Zhang; Sai Zhang; Yuhua Yang; Wendong Zhang 出版日期：2024-05-30
求助人	木糠在 2026-01-08 17:57:09 发布自宁夏，悬赏 10 积分
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