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标题
Influence of implantation and annealing temperatures on the irradiation damage in He2+ ion implanted 6H-SiC
注入和退火温度对He2+离子注入6H-SiC辐照损伤的影响
相关领域
退火（玻璃） 辐照 离子注入 材料科学 离子 放射化学 分析化学（期刊） 冶金 化学 核物理学 物理 环境化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.nimb.2025.165611
DOI
10.1016/j.nimb.2025.165611 doi
其它 期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms
作者：Hang Zang; Heng Yu; Tao Wang; Fang Liu; Chuanhao Chen; et al
出版日期：2025-01-13
求助人
ziliz 在 2025-12-05 17:14:41 发布自海南，悬赏 10 积分
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