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标题
Nanoindentation of AlGaN Films Formed on SiC/Si Substrates Grown by the Method of Coordinated Substitution of Atoms
原子配位取代法生长的SiC/Si衬底上AlGaN薄膜的纳米压痕
相关领域
纳米压痕 材料科学 外延 图层（电子） 复合材料 缩进 碳化硅 基质（水族馆） 硅 弹性模量 表面粗糙度 氮化物 结晶学 光电子学 海洋学 地质学 化学
网址
https://doi.org/10.3103/s0025654423700164
DOI
10.3103/s0025654423700164 doi
其它 期刊：Mechanics of Solids
作者：А. С. Гращенко; С. А. Кукушкін; А. В. Осипов; Sh. Sh. Sharofidinov
出版日期：2023-08-01
求助人
毛聋聋 在 2025-12-04 13:09:02 发布自海南，悬赏 10 积分
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