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On the Atomic Layer Deposition of Tantalum Oxide for Field Effect Sensors 场效应传感器用氧化钽的原子层沉积
相关领域
原子层沉积
材料科学
沉积(地质)
钽
图层(电子)
光电子学
氧化物
场效应
领域(数学)
氧化铝
分析化学(期刊)
化学工程
双层(生物学)
原子氧
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| 其它 |
期刊:Semiconductors 作者:V. P. Grudtsov; E. M. Eganova; O. V. Gubanova; A V Goryachev; K. V. Puchnin; et al 出版日期:2024-12-01 |
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