Multimolecular interactions for SiC N O film formation by parallel plate plasma-enhanced chemical vapor deposition without heat assistance

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标题	Multimolecular interactions for SiC N O film formation by parallel plate plasma-enhanced chemical vapor deposition without heat assistance 相关领域化学气相沉积学位（音乐）等离子体多项式的沉积（地质）硅氧气氮气氩碳纤维材料科学等离子体增强化学气相沉积热力学化学数学纳米技术复合材料有机化学数学分析物理古生物学沉积物复合数生物量子力学声学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2022.126970
DOI	10.1016/j.matchemphys.2022.126970 doi
其它	期刊：Materials Chemistry and Physics 作者：Hiroki Kawakami; Kenta Hori; Toru Watanabe; Hitoshi Habuka 出版日期：2022-11-17
求助人	实验室留守儿童在 2026-01-06 13:37:38 发布自重庆，悬赏 10 积分
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