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 Characterization of Palladium Acetylacetonate as a CVD Precursor for Pd Metallization 相关领域
钯
材料科学
微电子
热分解
化学气相沉积
分解
金属
化学工程
吸附
冶金
纳米技术
催化作用
物理化学
有机化学
化学
工程类
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期刊：MRS Proceedings 作者：Steven P. Kowalczyk; Michael Ldgdlund; Mats Fahlman; W. R. Salaneck 出版日期：1992-01-01 |
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