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Investigation on gate oxide reliability under gate bias screening for commercial SiC planar and trench MOSFETs 商用SiC平面和沟槽MOSFET栅极偏压屏蔽下的栅极氧化物可靠性研究
相关领域
材料科学
随时间变化的栅氧化层击穿
栅氧化层
光电子学
MOSFET
可靠性(半导体)
阈值电压
沟槽
晶体管
浅沟隔离
栅极电介质
平面的
薄脆饼
负偏压温度不稳定性
氧化物
电压
电气工程
纳米技术
计算机科学
功率(物理)
工程类
物理
计算机图形学(图像)
量子力学
图层(电子)
冶金
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:Limeng Shi; Jiashu Qian; Michael Jin; Monikuntala Bhattacharya; Hengyu Yu; et al 出版日期:2024-02-07 |
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