In-gap states in titanium dioxide and oxynitride atomic layer deposited films

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标题	In-gap states in titanium dioxide and oxynitride atomic layer deposited films
网址	https://doi.org/10.1116/1.4972247
DOI	10.1116/1.4972247 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Karsten Henkel; Chittaranjan Das; Małgorzata Kot; Dieter Schmeißer; Franziska Naumann; et al 出版日期：2017
求助人	比奇堡力工在 2026-06-10 15:04:36 发布自湖北，悬赏 10 积分
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