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标题
Deep Traps in AlN Hydride Vapor Phase Epitaxy film on Low-Temperature AlN/sapphire
低温AlN/蓝宝石上AlN氢化物气相外延膜中的深陷阱
相关领域
材料科学 蓝宝石 外延 氢化物 气相 光电子学 相(物质) 冶金 纳米技术 光学 金属 图层(电子) 热力学 激光器 有机化学 化学 物理
网址
DOI
10.1149/2162-8777/ad7efa doi
其它 期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology
作者:A. Y. Polyakov; A.A. Vasil'ev; Ivan Shchemerov; А. В. Черных; А. I. Kochkova; et al
出版日期:2024-09-24
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