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![]() 嵌入Scott-Russell机构的桥式位移放大器新型柔性XY微定位台
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期刊:Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology 作者:Haitao Wu; Lei-Jie Lai; Liqiang Zhang; Limin Zhu 出版日期:2021-09-27 |
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