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 Gettering of transition metals in high-performance multicrystalline silicon by silicon nitride films and phosphorus diffusion 利用硅氮薄膜和磷扩散吸除高性能多晶体硅中过渡金属
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：AnYao Liu; Chang Sun; Hang Cheong Sio; Xinyu Zhang; Hao Jin; et al 出版日期：2019-01-28 |
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